Pirani Vakuum Sensoren

Posifa Technologies revolutioniert die Vakuummessung des Pirani Prinzip vom herkömmlichen abkühlen eines Thermistor hin zur MEMS Halbleiter Technologie. Der Wärmetransport eines im Silizium Chip verwendeten Heizelements zum Thermopile ist hiermit deutlich kleiner und günstiger möglich. Damit realisiert Posifa Vakuummessungen bis zu 10E-4 Torr.

Es stehen unterschiedliche Gehäusebauformen zur Auswahl. PVC3001 im TO5, oder SMD Gehäuse mit Zugriff auf Heizelement und Thermopile. Der PVC4001 kann in dieser kleinen Bauform in jede Vakuumanwendung integriert werden. Das Ausgangssignal ist ebenfalls kompensiert. Die PVC4101 Serie ist zusätzlich kalibriert.

Im Beim PVC5116 im Edelstahlgehäuse mit KF16 Anschluss ist Sensor der PVC4101 integriert. Damit steht eine Anwenderfreundliche Version zur Verfügung. Das Messgerät PVC6116 bietet als Vakuum Gauge direkt austauschbare Alternativen zum PGS500, TTR91, APG100-XM, APG100-XLV sowie 925.